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實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)

簡要描述:實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)具有外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、自動(dòng)化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護(hù)的特點(diǎn),尤其適用于實(shí)驗(yàn)室高校使用,客戶可根據(jù)自身不同需求選配。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2024-08-06
  • 訪  問  量:155
  實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)采用磁控濺射及陰極電弧相結(jié)合的鍍膜技術(shù),既滿足了對膜層致密性要求,又滿足了高離化率的要求;立式結(jié)構(gòu),工件卷繞系統(tǒng)垂直安裝在真空室內(nèi);多室門設(shè)計(jì),陰極安裝在側(cè)門上,可裝六套陰極源或離子源,開門即可對靶進(jìn)行維護(hù)或更換;設(shè)備可一次性進(jìn)行工件表面處理及鍍制多層膜,實(shí)現(xiàn)多層膜沉積。適用多種金屬或化合物鍍膜材料。
 
  實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)具有外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小、自動(dòng)化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護(hù)的特點(diǎn),尤其適用于實(shí)驗(yàn)室高校使用,客戶可根據(jù)自身不同需求選配。
 

 


實(shí)驗(yàn)室鍍膜機(jī)技術(shù)參數(shù):

制方式

7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-9995段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

最大功率

1200W

最大輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機(jī)械泵 ≤5Pa5分鐘)   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (最大可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

1800

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍(lán)  帶坩堝鎢絲藍(lán)  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計(jì)接口  KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴(kuò)展

機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa  

數(shù)顯真空計(jì)(測量范圍大氣壓到0.1Pa

分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa

 
 

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